Cum influențează presiunea de funcționare din mașina de acoperire cu sputtering cu magnetron calitatea și uniformitatea acoperirii aplicate substraturilor?
Presiunea de funcționare joacă un rol direct în controlul ratei de depunere a materialului sputter pe substrat. La presiuni scăzute, calea liberă medie - distanța pe care o atom sputter a traversat...