Cunoștințe comune despre sputteringul cu magnetron de acoperire în vid- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Cunoștințe comune despre sputteringul cu magnetron de acoperire în vid

DC Sputtering de magnetron , RF Magnetron Sputtering, pulverizare cu magnetron pulsat și sputtering cu magnetron FRE2QUENCE mediu

Sputteringul reactiv este de a introduce o anumită proporție de gaz reactiv în atmosfera de gaz inert în sistemul de sputtering. De obicei, principalele gaze reactive sunt oxigenul și azotul.

Metoda de sputtering DC este utilizată în sputtering și acoperire reactivă de sputtering, unde materialul sputter este un material conductiv, iar echipamentul de proces este simplu și are o rată ridicată de sputtering.

Într -un singur sistem țintă de catod, sputteringul cu magnetron cu frecvență medie AC are aceeași eliberare de sarcină și efect de prevenire a arcului ca și sputteringul cu magnetron puls. Tehnologia de sputtering cu frecvență medie AC este, de asemenea, aplicată sistemului de sputtering Twin Target (TWIN2MAG). Sputtering -ul țintă cu frecvență medie AC este de a conecta cele două capete de ieșire ale sursei de alimentare cu frecvență medie la catodii respectivi ai câmpului magnetic închis dezechilibrat dublu țintă dublă. Prin urmare, tensiunile alternative cu faze opuse sunt obținute respectiv pe țintele duble, iar o pereche de ținte de sputtering de magnetron devin alternativ alternativ catodi și anodi.

Tehnologia de sputtering pentru țintă gemene îmbunătățește considerabil stabilitatea operației de sputtering de magnetron, ceea ce poate evita acumularea de sarcini pe suprafața țintă otrăvită, provocând problema aprinderii arcului pe suprafața țintă și dispariția anodului. Pune bazele producției în masă.

Mașină de acoperire cu sputtering cu magnetron

Acoperirile cu ioni multi-arc și sputtering pot fi depuse într-o gamă largă de culori. Sunarea culorilor poate fi îmbunătățită în continuare prin introducerea gazelor reactive în cameră în timpul procesului de depunere. Gazele reactive utilizate pe scară largă pentru acoperirile decorative sunt azotul, oxigenul, argonul sau acetilena. Acoperirile decorative sunt produse într-o anumită gamă de culori, în funcție de raportul metal-gaz din acoperire și structura acoperirii. Ambii factori pot fi modificați prin modificarea parametrilor de depunere.

Înainte de depunere, piesele sunt curățate, astfel încât suprafața să fie lipsită de praf sau impurități chimice. Odată ce procesul de acoperire a început, toți parametrii procesului relevant sunt monitorizați și controlați continuu de un sistem automat de control al computerului.

Distribuie: