Metode comune de detectare a scurgerilor de vid

Detectarea scurgerilor prin spectrometrie de masă de heliu

Această tehnologie este o tehnologie indispensabilă în domeniul detectării scurgerilor de vid. Este utilizat pe scară largă la detectarea scurgerilor din cauza eficienței sale ridicate de detectare a scurgerilor, a funcționării ușoare, a răspunsului sensibil la instrument, a preciziei ridicate și a nu și a Furnizori de sisteme de acoperire PVD din China ușor interferat de alte gaze. Detector de scurgere a spectrometrului de masă de heliu este un fel de instrument de detectare a etanșeității gazelor bazat pe principiul spectrometriei de masă, care folosește heliu ca gaz de scurgere. Este compus dintr -o sursă ionică, un analizor, un colecționar, un gabarit de ionizare a catodului rece, o cameră de spectrometrie de masă, un sistem de evacuare și o parte electrică. Electronii emise din filament din camera de spectrometrie de masă oscilează înainte și înapoi în cameră și se ciocnesc cu gazul interior și heliul care intră în cameră prin gaura scurgerii pentru a ioniza în ioni pozitivi. Acești ioni de heliu intră în câmpul magnetic sub creierul stâng și dreapta al câmpului electric accelerat și se deviază din cauza acțiunii forței Lorentz, formând o orbită a arcului circular și schimbând câmpul electric accelerat. Presiunea permite detectarea ionilor de masă diferită prin atingerea polului de recepție prin câmpuri magnetice și primirea sloturilor. Metoda de injecție cu heliu și metoda de absorbție a heliului sunt cele două metode utilizate frecvent în detectarea scurgerilor spectrometrului de masă de heliu.