Cum se rezolvă non-uniformitatea filmelor sputtered cu magnetron?- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

, uniformitatea și direcția câmpului magnetic trebuie asigurate să formeze un câmp magnetic spațial relativ uniform.

În al doilea rând, uniformitatea presiunii aerului ar trebui să fie asigurată pe cât posibil. La proiectarea camerei de vid, poziția de instalare a pompei de vid, calea Evaporare fabrică de mașini de acoperire în vid trebuie luată în considerare aportul de gaz de proces și aspectul conductei de proces în cameră.

În al treilea rând, deoarece câmpul magnetic și presiunea aerului nu pot fi absolut ideale, câmpul magnetic poate fi compensat de non-uniformitatea presiunii aerului pentru a face uniforma finală a filmului.

În al patrulea rând, distanța de bază țintă este, de asemenea, un factor important care afectează uniformitatea.

Distribuie: