Pași de curățare a piesei de lucru înainte de acoperire în mașina de acoperire a vidului

Pentru a îmbunătăți aderența și netezimea filmului placat pe suprafața substratului, precum și compactitatea filmului, înainte ca substratul să fie atârnat în mașina de acoperire cu vid, o etapă preliminară de curățare trebuie efectuată pentru a îndepărta petele de ulei, petele, praf

1. Curățarea încălzirii în vid

Piesa de lucru este încălzită sub presiune normală sau vid. Promovează evaporarea impurităților volatile la suprafață pentru a atinge scopul curățării. Efectul de curățare al acestei metode este legat de presiunea ambientală a piesei de lucru, de lungimea timpului de retenție în vid, temperatura de încălzire, tipul de contaminanți și materialul piesei de lucru. Principiul este de a încălzi piesa de lucru. Promovează desorbția îmbunătățită a moleculelor de apă și a diferitelor molecule de hidrocarburi adsorbite pe suprafața sa. Gradul de îmbunătățire a desorbției depinde de temperatură. Sub vid ultra-ridicat, pentru a obține suprafețe curate atomic, temperatura de încălzire trebuie să fie mai mare de 450 de grade. Metoda de curățare a încălzirii este deosebit de eficientă. Dar uneori, această abordare poate avea și efecte secundare. Ca urmare a încălzirii, poate apărea ca unele hidrocarburi să se aglomereze în aglomerate mai mari și, în același timp, să se descompună în reziduuri de carbon

2. Curățarea iradierii ultraviolete

Utilizează radiații UV pentru a descompune hidrocarburi la suprafață. De exemplu, expunerea la aer timp de 15 ore produce o suprafață curată de sticlă. Dacă suprafețele pre-curățate în mod corespunzător sunt plasate într-o sursă UV generatoare de ozon. O suprafață curată poate fi creată în câteva minute (proces curat). Acest lucru indică faptul că prezența ozonului crește rata de curățare. Mecanismul de curățare este: sub iradiere ultravioletă, moleculele de murdărie sunt excitate și disociate, iar generarea și existența ozonului produce oxigen atomic extrem de activ. Moleculele de murdărie emoționate și radicalii liberi generați de disocierea murdăriei interacționează cu oxigenul atomic. Se formează molecule mai simple și mai volatile. Cum ar fi H2O3, CO2 și N2. Rata de reacție crește odată cu creșterea temperaturii.

3. Curățarea descărcării

Această metodă de curățare este utilizată pe scară largă în curățarea și degazarea sistemelor de vid cu vid ridicat și ultra-înalt. Utilizat în special în mașinile de acoperire cu vid. Ca sursă de electroni este utilizat un fir fierbinte sau electrod. Aplicarea unei prejudecăți negative la suprafață pentru a fi curățată poate obține desorbția gazelor prin bombardarea ionică și îndepărtarea anumitor hidrocarburi. Efectul de curățare depinde de materialul electrodului, geometria și relația sa cu suprafața. Adică depinde de numărul de ioni și energie ionică pe suprafața unității. Prin urmare, depinde de energia electrică disponibilă. Camera de vid este umplută cu un gaz inert (de obicei gaz AR) la o presiune parțială adecvată. Curățarea poate fi obținută prin bombardament ionic prin descărcarea de strălucire la tensiune joasă între doi electrozi adecvați. În această metodă. Gazul inert este ionizat și bombardează peretele interior al camerei de vid, alte părți structurale din camera de vid și substratul care trebuie placat, ceea ce poate face unele sisteme de vid scutite de coacerea la temperaturi ridicate. Rezultate mai bune de curățare pentru unele hidrocarburi pot fi obținute dacă se adaugă oxigen la gaz încărcat. Deoarece oxigenul poate oxida anumite hidrocarburi pentru a forma gaze volatile care sunt ușor îndepărtate de sistemul de vid. Principalele componente ale impurităților de pe suprafața vaselor din oțel inoxidabil și a vaselor de vid ultra-înalte sunt carbonul și hidrocarburile. În general, carbonul din acesta nu poate fi volatilizat singur. După curățarea chimică, este necesar să se introducă gaz mixt AR sau AR O2 pentru curățarea descărcării de strălucire, astfel încât impuritățile de pe suprafață și gazele legate de suprafață din cauza acțiunii chimice să fie îndepărtate. în curățarea descărcării de strălucire. Parametrii importanți sunt tipul de tensiune aplicată (AC sau DC), mărimea tensiunii de descărcare, densitatea curentului, tipul de gaz încărcat și presiunea. Durata bombardamentului. Forma electrozilor și materialul și locația pieselor care trebuie curățate, etc.

4. Fursă de gaz

(1) Înroșirea de azot

Când azotul este adsorbit pe suprafața materialului, datorită energiei mici de adsorbție, timpul de retenție de suprafață este scurt. Chiar dacă este adsorbit pe peretele dispozitivului, este ușor de pompat. Utilizarea acestei proprietăți de azot pentru a spăla sistemul de vid poate scurta foarte mult timpul de pompare al sistemului. De exemplu, înainte ca mașina de acoperire în vid să fie introdusă în atmosferă, umpleți camera de vid cu azot uscat pentru a o spăla și apoi umple -o în atmosferă, timpul de pompare al următorului ciclu de pompare poate fi scurtat cu aproape jumătate, deoarece energia de adsorbție a azotului este mult mai mică decât moleculele de vapori de apă, după ce a fost umplut cu nitrogen sub vid, moleculele de nitrogen sunt completate de nitrogen, în timp ce vacuum, se află în camera de nitrogen, în timp ce vacul, în timp perete. Deoarece locul de adsorbție este fixat, acesta este umplut mai întâi cu molecule de azot și există foarte puține molecule de apă adsorbite, scurtarea timpului de pompare. Dacă sistemul este poluat de stropirea uleiului a pompei de difuzie, metoda de spălare a azotului poate fi, de asemenea, utilizată pentru a curăța sistemul poluat. În general, în timp ce coaceți și încălziți sistemul, spălarea sistemului cu gaz de azot poate elimina poluarea cu ulei.

(2) Înroșirea reactivă a gazului

Această metodă este deosebit de potrivită pentru spălarea internă (îndepărtarea contaminării cu hidrocarburi) a acoperișurilor mari din oțel inoxidabil ultra-înalt. De obicei, pentru camerele de vid și componentele de vid ale unor sisteme mari de vid ultra-înalte, pentru a obține suprafețe curate atomic, metodele stşiard pentru eliminarea contaminării suprafeței sunt curățarea chimică, prăjirea cuptorului cu vid, curățarea descărcării de strălucire și sistemele originale de vid și alte metode. Metodele de curățare și degazare descrise mai sus sunt utilizate în mod obișnuit înainte și în timpul asamblării unui sistem de vid. După ce sistemul de vid este instalat (sau după ce sistemul este în funcțiune), deoarece diferitele componente din sistemul de vid au fost fixate, este dificil să degam diferitele componente din sistemul de vid. Odată ce sistemul este (accidental) contaminat (în principal numere atomice mari), moleculele, cum ar fi contaminarea cu hidrocarburi) sunt de obicei demontate și reprocesate înainte de instalare. Odată cu procesul de gaz reactiv, poate fi efectuată degazarea online in situ. Îndepărtați eficient poluarea hidrocarburilor în camera de vid din oțel inoxidabil. Mecanismul său de curățare: în sistem, în sistem sunt citate gazul oxidant (O2, N0) și reducerea gazului (H2, N H3) pentru a efectua curățarea reacției chimice pe suprafața metalului pentru a elimina poluarea, pentru a obține suprafețe metalice curate atomic. Viteza de oxidare/reducere a suprafeței depinde de contaminare și de materialul suprafeței metalice. Rata de reacție a suprafeței este controlată prin reglarea presiunii și temperaturii gazului de reacție. Pentru fiecare substrat, parametrii precisi sunt determinați experimental. Acești parametri sunt diferiți pentru diferite orientări cristalografice.

Fondată în 2007 ca nume anterior Huahong vid Technology, este profesionist Furnizori de accesorii în vid din China and Producători de accesorii în vid , inclusiv, dar fără a se limita la sisteme de sputtering, unități de acoperire optică, metalizatoare de lot, sisteme de depunere de vapori fizici (PVD), echipamente de depunere a acoperirii cu vid rezistent la uzură, straturi de substrat de sticlă, palete de substrat PC, mașini de rulare pentru substraturi flexibile de acoperire. Mașinile sunt utilizate pentru o gamă largă de aplicații descrise mai jos (dar fără a se limita la) automobile, decorative, acoperiri dure, acoperiri de tăiere a sculelor și metalelor și aplicații de acoperire cu filme subțiri pentru industriale și laboratoare, inclusiv universități. Danko vid Technology Company Ltd este angajat pentru a extinde limitele noastre de pe piață, oferind prețuri de accesorii de înaltă calitate, de înaltă performanță și de înaltă performanță. Compania noastră se concentrează foarte mult pe serviciile post-vânzare pe piețele interne și internaționale, oferind planuri precise de procesare a părților și soluții profesionale pentru a satisface nevoile clienților.