Ce factori vor afecta performanța de acoperire a mașinii de acoperire cu vid?

Ce factori vor afecta performanța de acoperire a Mașină de acoperire cu vid ?

Dacă o mașină de acoperire cu vid dorește să acopere un film bun, trebuie să se asigure că mulți factori sunt într -o stare normală, cum ar fi acoperirea în vid, distanța țintă de bază, temperatura de evaporare, temperatura substratului, presiunea reziduală a gazului și alți factori. Există o abatere într -un anumit factor. Acesta va afecta performanța stratului de acoperire al mașinii de acoperire cu vid. Următorul este un editor de vid pentru a explica în detaliu ce factori vor afecta performanța de acoperire a mașinii de acoperire a vidului. Sper că te poate ajuta:

1. Rata de evaporare

Mărimea ratei de evaporare are o influență mare asupra filmului depus. Deoarece structura de acoperire formată din rata de depunere scăzută este liberă și ușor de depus particule mari, pentru a asigura compactitatea structurii de acoperire, este foarte sigur să alegeți o rată de evaporare mai mare. Atunci când presiunea gazelor reziduale în camera de vid este constantă, rata de bombardament de bombardare a substratului este o valoare constantă. Prin urmare, după selectarea unei rate de depunere mai mari, gazul rezidual conținut în filmul depus va fi redus, reducând astfel reacția chimică dintre moleculele reziduale de gaz și particulele materialului de film evaporat. Prin urmare, puritatea filmului depus poate fi îmbunătățită. Trebuie menționat că, dacă rata de depunere este prea mare, poate crește stresul intern al filmului, ceea ce duce la o creștere a defectelor din stratul de film și chiar la fisurarea stratului de film în cazuri severe. În special, în procesul de evaporare reactivă, poate fi selectată o rată de depunere mai mică pentru a permite gazul de reacție și particulele de material de film evaporate să reacționeze suficient. Desigur, ar trebui utilizate diferite rate de evaporare pentru evaporarea diferită a materialelor. Ca un exemplu practic al modului în care o rată de depunere scăzută poate afecta performanța unui film este depunerea unui film reflectorizant. De exemplu, atunci când grosimea filmului este de 600x10-8cm și timpul de evaporare este de 3s, reflectivitatea este de 93%. Cu toate acestea, dacă rata de evaporare este încetinită sub aceeași grosime a filmului, este nevoie de 10 min pentru a finaliza depunerea de film. În acest moment, grosimea filmului este aceeași. Cu toate acestea, reflectivitatea a scăzut la 68%.

2. Temperatura substratului

Temperatura substratului are, de asemenea, un efect mare asupra acoperirii evaporative. Moleculele reziduale de gaz adsorbite pe suprafața substratului la temperaturi ridicate ale substratului sunt ușor îndepărtate. În special, excluderea moleculelor de vapori de apă este mai importantă. Mai mult decât atât, nu este doar ușor să promovați trecerea de la adsorbția fizică la adsorbția chimică la o temperatură mai ridicată, crescând astfel forța de legare între particule. Mai mult decât atât, diferența dintre temperatura de recristalizare a moleculelor de vapori și temperatura substratului poate fi redusă, reducând astfel sau eliminând stresul intern pe interfața filmului-substrat. În plus, întrucât temperatura substratului este legată de starea cristalină a filmului, acoperirile amorfe sau microcristaline tind să fie ușor formate în condiții de încălzire scăzute sau deloc pe substrat. În schimb, atunci când temperatura este mai mare, este ușor să generați o acoperire cristalină. Creșterea temperaturii substratului este, de asemenea, benefică pentru îmbunătățirea proprietăților mecanice ale acoperirii. Desigur, temperatura substratului nu ar trebui să fie prea mare pentru a preveni reevaporarea acoperirii evaporate.

3. Influența presiunii reziduale a gazelor în camera de vid asupra performanței filmului

Presiunea gazelor reziduale în camera de vid are o influență mare asupra performanței membranei. Dacă presiunea este prea mare, moleculele reziduale de gaz nu sunt doar ușor de ciocnit cu particulele evaporate, astfel încât energia cinetică a oamenilor care filmează pe substrat este redusă, ceea ce afectează aderența filmului. Mai mult decât atât, presiunea excesivă a gazului rezidual va afecta serios puritatea membranei și va reduce performanța acoperirii.

4. Efectul temperaturii de evaporare asupra acoperirii de evaporare

Efectul temperaturii de evaporare asupra performanței filmului este arătat de rata de evaporare în funcție de temperatură. Când temperatura de vaporizare este ridicată, căldura vaporizării va scădea. Dacă materialul de film este evaporat peste temperatura de evaporare, chiar și o ușoară modificare a temperaturii poate provoca o schimbare rapidă a vitezei de evaporare a materialului de film. Prin urmare, este foarte important să controlați cu precizie temperatura de evaporare în timpul depunerii filmului pentru a evita un gradient de temperatură mare atunci când sursa de evaporare este încălzită. Pentru materialul de film ușor de sublim, materialul de film în sine este selectat ca încălzitor, iar măsuri precum evaporarea sunt, de asemenea, foarte importante. .

Cele patru aspecte de mai sus sunt factorii comuni care afectează performanța stratului de acoperire al mașinii de acoperire cu vid și sunt, de asemenea, factorii de influență convenționali. În timpul procesului de acoperire a mașinii de acoperire în vid, este necesar să se asigure că acești factori sunt într -o stare normală.