Care sunt principalele componente ale unui sistem de acoperire cu vid?

1. Camera de vid

Echipament de acoperire În principal, are două forme: linia de producție continuă de acoperire și mașina de acoperire cu un singur camer, fabricarea materialelor din oțel inoxidabil, sudarea arcului argon, tratamentul de lustruire a substanțelor chimice de suprafață și diverse specificații ale interfețelor de flanșă sunt sudate pe componentele camerei de vid.

2, parte de achiziție în vid

În tehnologia în vid, partea de achiziție a vidului este o parte importantă. Achiziția de vid nu poate fi obținută printr -un singur echipament și metodă de vid. Mai multe pompe trebuie utilizate în combinație, cum ar fi pompe mecanice, pompe de rădăcini, sisteme de pompe moleculare etc.

3, partea de măsurare a vidului

Partea de măsurare a vidului a sistemului de vid este de a măsura presiunea în camera de vid. Ca o pompă de vid, niciun manometru nu poate măsura întreaga gamă de vid, astfel încât oamenii au făcut multe tipuri de calibre de vid în funcție de diferite principii și cerințe. Cum ar fi contorul termocuplei, contorul de ionizare, contorul pirani etc.

4. Partea de alimentare cu energie electrică

Sursa de alimentare țintă include în principal sursa de alimentare cu curent continuu, alimentarea cu frecvență intermediară, alimentarea cu puls și sursa de alimentare cu frecvență radio (RF). Producătorii de alimentare comună includ AE, ADL, Hottinger etc.

5. Sistem de intrare a gazelor de proces

Gazele de proces, cum ar fi argon (AR), krypton (KR), azot (N2), acetilenă (C2H2), metan (CH4), hidrogen (H2), oxigen (O2), etc., sunt furnizate în general de cilindri de gaz. Valva de reducere a presiunii de gaz, supapa de oprire a gazului, conducta, debitul de gaz, supapa solenoidă, supapa piezoelectrică și apoi în camera de vid. Avantajul acestui sistem de intrare a gazului este că conducta este simplă și clară și este ușor de reparați sau de înlocuire a cilindrului de gaz. Mașinile de acoperire nu se afectează reciproc. Există, de asemenea, cazuri în care mai multe mașini de acoperire au un set de cilindri de gaz. Această situație poate fi văzută în unele ateliere de acoperire pe scară largă. Avantajul său este că reduce ocuparea cilindrilor de gaz, a planificării unificate și a aspectului unificat. Dezavantajul este că, datorită creșterii numărului de articulații, șansa scurgerii de aer crește. Mai mult decât atât, mașinile de acoperire vor interfera între ele, iar conducta unei mașini de acoperire poate scurge aer, ceea ce poate afecta calitatea produsului altor mașini de acoperire. În plus, atunci când înlocuiți cilindrii de gaz, este necesar să vă asigurați că toate mașinile sunt într-o stare non-gaze.

6. Partea de transmisie mecanică

Acoperirea necesită ca grosimea periferiei să fie uniformă. Prin urmare, trebuie să existe trei rotații în procesul de acoperire pentru a îndeplini cerințele. Adică, în timp ce masa mare a piesei de lucru trebuie să se rotească (I), micul purtător de lucru se rotește și (II), iar piesa de lucru în sine se poate roti în același timp (III). În proiectarea mecanică, în general, există un echipament mare de conducere în centrul fundului de prelucrare a piesei mari, iar unele roți mici cu roți stelari se plâng cu ea. Dacă produsul va fi rotit, piesa de lucru este în general rotită de o furculiță de schimb.

7, Partea de măsurare a încălzirii și a temperaturii

Echipamentele de acoperire au, în general, încălzitoare în diferite poziții, iar termocuplurile sunt utilizate pentru a măsura și controla temperatura. Cu toate acestea, deoarece poziția de prindere a termocuplării este diferită de poziția piesei, citirea temperaturii nu poate fi adevărata temperatură a piesei de lucru. Pentru a măsura temperatura adevărată a piesei de lucru, există multe metode, puteți instala hârtie de testare la temperatură ridicată sau contor de termocuple pe piesa de lucru.

8. Sursa de evaporare și sputtering ion

Sursa de evaporare a placării cu mai multe arc este, în general, sub forma unui tort rotund, cunoscută în mod obișnuit ca țintă rotundă a tortului și există, de asemenea, ținte dreptunghiulare cu mai multe arcuri. Un magnet este instalat în baza țintă. Prin deplasarea magnetului înainte și înapoi, intensitatea câmpului magnetic este modificată, iar viteza de mișcare și traiectoria locului arc pot fi reglate. Pentru a reduce temperatura țintei și a bazei țintă, baza țintă trebuie furnizată continuu cu apă de răcire. Pentru a asigura o conductivitate electrică și termică ridicată între țintă și baza țintă, se poate adăuga și o garnitură de staniu între țintă și baza țintă. Acoperirea cu sputtering cu magnetron folosește, în general, catodii de sputtering dreptunghiulare sau cilindrice.

9, sistem de răcire a apei

În general, este format din turn de apă rece, mașină cu apă cu gheață, pompă de apă etc.

10, Sistem de control industrial