E -mail: 
Tel:+86-13486478562
Limbă Consultarea produsului
Adresa dvs. de e -mail nu va fi publicată. Câmpurile obligatorii sunt marcate *
Mașină de acoperire cu vid Se referă în principal la un tip de acoperire care trebuie efectuat sub un vid mai mare, incluzând multe tipuri, inclusiv evaporarea încălzirii la rezistență la vid, evaporarea încălzirii cu arme de electroni, sputtering cu magnetron, epitaxia fasciculului molecular MBE, depunerea de sputtering cu laser PLD, Ion Există multe tipuri de sputtering. Ideea principală este împărțită în două tipuri de evaporare și sputtering.
Funcționarea dulapului de control electric
1. Porniți pompa de apă și sursa de aer.
2. Porniți sursa principală de alimentare.
3. Porniți sursa de alimentare a pompei de întreținere și a ecartamentului de vid, poziția de calibru vid V1, așteptați ca valoarea să fie mai mică de 10, apoi să intre în următorul pas. Durează aproximativ 5 minute.
4. Porniți pompa mecanică, pre-pompe, porniți puterea pompei moleculare turbo și porniți-o. Comutatorul de gabarit de vid este schimbat în poziția V2. Este nevoie de aproximativ 20 de minute pentru a pompa până la mai puțin de 2.
5. După ce a observat că citirea pompei turboleculare ajunge la 250, opriți pre-pompa, porniți pompa de susținere și supapa de vid mare pentru a continua aspirarea. După ce vidul atinge un anumit nivel, porniți gabaritul ridicat de vid din dreapta pentru a observa vidul. Abia după ce vidul ajunge la 2 × 10-3, se poate porni sursa de alimentare a armelor de electroni.
1. Porniți pompa de apă și sursa de aer.
2. Porniți sursa principală de alimentare.
3. Porniți sursa de alimentare a pompei de întreținere și a ecartamentului de vid, poziția de calibru vid V1, așteptați ca valoarea să fie mai mică de 10, apoi să intre în următorul pas. Durează aproximativ 5 minute.
4. Porniți pompa mecanică, pre-pompe, porniți puterea pompei moleculare turbo și porniți-o. Comutatorul de gabarit de vid este schimbat în poziția V2. Este nevoie de aproximativ 20 de minute pentru a pompa până la mai puțin de 2.
5. După ce a observat că citirea pompei turboleculare ajunge la 250, opriți pre-pompa, porniți pompa de susținere și supapa de vid mare pentru a continua aspirarea. După ce vidul atinge un anumit nivel, porniți gabaritul ridicat de vid din dreapta pentru a observa vidul. Abia după ce vidul ajunge la 2 × 10-3, se poate porni sursa de alimentare a armelor de electroni.
Def-6b Operațiune
1. Sursa de alimentare totală.
2. Porniți controlul pistolului de electroni ⅰ și controlul pistolului de electroni ⅱ Sursa de alimentare în același timp: apăsați controlul pistolului de electroni ⅰ Sursa de alimentare, comutatorul de întârziere, întârzierea, alimentarea și luminile de protecție sunt aprinse. După trei minute, întârzierea și luminile de protecție sunt stinse. Dacă ușa din spate nu este închisă sau releul de debit de apă are eșec, lumina de protecție va fi întotdeauna aprinsă.
3. Când tensiunea înaltă este pornită, tensiunea înaltă va atinge mai mult de 10kV, curentul fasciculului poate fi ajustat la aproximativ 200mA, grila de perdele este de 20V/100mA, curentul de filament este de 1,2A, iar curentul de deviere se leagănă între 1 și 1,7.
Secvență de oprire
1. Opriți contorul de vid ridicat și pompa moleculară.
2. Când afișarea pompei moleculare atinge 50, opriți robinetul înalt, faza din față și pompa mecanică la rândul său. Această perioadă durează aproximativ 40 de minute.
3. Când este sub 50, opriți din nou pompa de întreținere.
Tel: +86-13486478562
FAX: +86-574-62496601
E -mail: 
Address: Nr. 79 West Jinniu Road, Yuyao, Ningbo City, Zhejiang Provice, China