Care este principiul de lucru al mașinii de acoperire cu vid？

În domeniul acoperirii, grosimea eșantionului de film după acoperire este un factor important care afectează performanța filmului. Prin urmare, atunci când evaluați performanța unui eșantion de film, este necesar să se testeze performanța eșantionului de film sub grosimi diferite. În cazul acoperirii cu vid, acest lucru necesită adesea mai multe preparate de eșantion. Cu toate acestea, există două probleme în pregătirea eșantioanelor de mai multe ori: în primul rând, starea instrumentului este diferită pentru eșantioanele cultivate în momente diferite, astfel încât factorul care afectează performanța eșantionului de film poate să nu fie doar grosimea; În al doilea rând, eșantionul trebuie să fie aspirat din nou în experimentul de acoperire cu vid. Obținerea consumă foarte mult timp. Creșteți costul de producție și testare.

Prin urmare, este furnizat un sistem multifuncțional de acoperire cu sputtering cu magnetron. Acest sistem este integrat de un sistem de acoperire cu vid și de un sistem de cutii de mănuși. Poate completa evaporarea filmului subțire într -o cameră de evaporare cu vid ridicat și are gaz inert de înaltă puritate în cutia de mănuși. Depozitarea și prepararea probelor și detectarea probelor după evaporare sunt efectuate într -o atmosferă. The combination of evaporation coating and glove box realizes the fully enclosed production of evaporation, encapsulation, testing and other processes, so that the entire film growth and device preparation process is highly integrated in a complete controllable environment atmosphere system, eliminating the organic large-area circuit preparation process The influence of unstable factors in the atmospheric environment guarantees the preparation of high-performance, large-area organic optoelectronic devices and Circuite.

Scopul principal al sistemului multifuncțional de acoperire cu sputtering cu magnetron: folosit pentru a pregăti diverse filme metalice, filme cu semiconductor, filme dielectrice, filme cu magnetron, filme optice, filme superconductoare, filme de detectare și diverse filme funcționale speciale.