Ce este depunerea de peliculă subțire prin evaporare termică?

Una dintre metodele comune de depunere a vaporilor fizici (PVD) este evaporarea termică. Aceasta este o formă de depunere subțire de film, care este o tehnologie de vid pentru aplicarea acoperirilor Evaporare furnizori de mașini de acoperire în vid de materiale pure la suprafața diferitelor obiecte. Acoperirile, numite și filme, sunt de obicei în gama de grosime a angstromurilor la microni și pot fi un singur material sau pot fi mai multe materiale într -o structură stratificată.
Materialele care vor fi aplicate cu tehnici de evaporare termică pot fi elemente atomice pure, inclusiv metale și non -metale, sau pot fi molecule precum oxizi și nitri. Obiectul care trebuie acoperit este denumit substrat și poate fi oricare dintre o mare varietate de lucruri precum: napolitane cu semiconductor, celule solare, componente optice sau multe alte posibilități.

Evaporarea termică implică încălzirea unui material solid în interiorul unei camere de vid ridicate, ducându -l la o temperatură care produce o presiune de vapori. În interiorul vidului, chiar și o presiune relativ scăzută de vapori este suficientă pentru a ridica un nor de vapori în interiorul camerei. Acest material evaporat constituie acum un flux de vapori, care traversează camera și lovește substratul, lipit de el ca acoperire sau film.
Întrucât, în cazuri de procese de evaporare termică, materialul este încălzit până la punctul său de topire și este lichid, este de obicei localizat în partea de jos a camerei, adesea într -un fel de creuzet vertical. Vaporii se ridică apoi deasupra acestei surse de jos, iar substraturile sunt ținute inversate în corpuri corespunzătoare în partea de sus a camerei. Suprafețele destinate a fi acoperite sunt astfel orientate în jos spre materialul sursă încălzit pentru a -și primi acoperirea.
Pași