Caracteristici:
• Performanță superioară
• Interval larg de putere și frecvență
• Sistem rapid de gestionare a arcului
• Tehnologie avansată de gestionare a arcului, energie reziduală cu arc scăzut
• Structura de proiectare flexibilă și modulară
• Curent de ieșire ridicat
• Tehnologia de putere de conducere
Beneficiul clienților:
• Reglabil la diverse procese și aplicații
• Depunerea de film subțire și uniformitatea filmului
• Viteza de depunere mare în condiții tehnologice
• Integrare convenabilă a sistemului
• O gamă largă de reglementare a puterii
• Fiabilitate ridicată