Evaporarea mașinii de acoperire în vid și a principiului fizic- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Evaporarea mașinii de acoperire în vid și a principiului fizic

Evaporarea Mașină de acoperire cu vid este compus în principal dintr -o cameră de acoperire în vid și un sistem de pompare în vid. Există surse de evaporare (adică încălzitoare de evaporare), suporturi de substraturi și substraturi, tije de electrod, surse de alimentare, cruciabile, încălzitoare de substrat, sisteme de evacuare etc. în camera de vid.

Materialul de acoperire este plasat în sursa de evaporare în camera de vid. În condiții de vid ridicate, sursa de evaporare este încălzită pentru a o evapora. Când calea liberă medie a moleculelor de vapori este mai mare decât dimensiunea liniară a camerei de vid, atomii și moleculele vaporilor de film se vor evapora din sursa de evaporare. După ce suprafața sursă a scăpat, aceasta este rareori colivalizată și împiedicată de alte molecule sau atomi și poate ajunge direct la suprafața substratului pentru a fi placat. Datorită temperaturii scăzute a substratului, particulele de vapori ale materialului de film se condensează pe acesta pentru a forma un film.

Pentru a îmbunătăți aderența dintre moleculele evaporate și substrat, substratul poate fi activat prin încălzire adecvată sau curățare a ionilor. Procesul fizic al acoperirii de evaporare a vidului din evaporarea materialelor, transportul la depunere și formarea filmului este următorul:

1. Folosiți diverse metode pentru a converti alte forme de energie în energie termică, încălziți materialul filmului pentru a se evapora sau sublim și a deveni particule gazoase (atomi, molecule sau grupuri atomice) cu o anumită energie (0,1 ~ 0,3ev):

2. Particulele gazoase părăsesc suprafața materialului membranei și sunt transportate pe suprafața substratului într -o linie dreaptă, cu o viteză substanțială de mișcare fără coliziune;

3. Particulele gazoase care ajung la suprafața substratului condensă și nucleează și cresc într -o peliculă solidă;

4. Atomii care alcătuiesc filmul sunt reorganizați și aranjați sau legați chimic.